光刻機的鏡頭要求純度非常高，它是利用透鏡的光學原理，將掩膜板上的電路圖按比例縮小在用光源映射的矽片上，光在多次投射中會產生光學誤差，在這個過程中要控製這個誤差，所以要求的精度非常高。
再比如光源光刻機需要體積小，功率高，穩定性強的光源為了提供這樣的光源就必須具有質量很好的能量控製器，電源要穩定，功率要足夠大，否則光源發生器沒辦法穩定工作。
這幾方麵要求，對光刻機的生產廠家，要求非常高！
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